Anotacija
Šiame darbe aprašoma taškinių defektų įtaka, priemaišų difuzijos skverbimasis į ristalą. Analitinis sprendinys netiesinės difuzijos lyginimas. Šis sprendinys buvo suskaičiuotas teoriškai išdėstytas priemaišų skverbimasis į kristalą. Gauti teorinį priemaišų pasiskirstymą ir palyginti su eksperimentiniais profiliais. Gauti šių profilių geri rezultatai.
Summary
In presented work are considered the point defects and its influence for the impurities diffusions in the crystal. The analytical solutions of nonlinear diffusion equation are considered and presented. That’s solutions was used for the calculations of the theoretical distribution profiles of impurities the crystal silicon. The obtained theoretical distribution profiles of impurities we compared with the experimental profiles. We get sufficient good coincidence of these profiles with experiments.
1. Įvadas
Difuzinių procesų teorinis nagrinėjimas pakankamai aktualus, nes difuziniai procesai plačiai naudojami gaminant mikroshemas bei kitą elektroninę aparatūrą. Difuzija – tai reiškinys, kai pernešami medžiagų atomai vykstant chaotiškam atomų šiluminiam judėjimui. Be lėtos atominės difuzijos yra žinoma ir difuzija sužadintose sistemose, kai vakansijos ir priemaišų atomai nėra šiluminėje pusiausvyroje su gardele. Labai stiprią difuziją turime, kai pradiniu laiku visos vakansijos yra sužadintos ir difuzijos koeficiantas siekia begalybę.
Kietame kūne difuzija vyksta vakansijomis, tarpmazgiais ir savidifuzija. Kad atomas judėtu tarpmazgiais jis turi turėti pakankamai didelę energiją. Tada jis išeina iš savo mazgo.
Eksperimentiškai atrastas sužadintų vakansijų superdifuzijos reiškinys atveria naujas galimybes modernių technologijų plėtrai, plėsti miniatiūrinių mikroelektronikos prietaisų gamybą.
Darbo tikslai ir uždaviniai:
1. susipažinti su defektų rūšimis kietame kūne;
2. palyginti boro ir fosforo difuzijos pasiskirstymo profilius silicio kristaluose;
3. susipažinti su netiesine difuzijos teorija.
2. Kietųjų kūnų sandara
Paprasčiausios kietųjų kūnų savybės, kuriomis jie ryškiai skiriasi nuo dujų, yra formos ir tūrio pastovumas. Nuo peršaldytųjų skysčių - vadinamųjų amorfinių kūnų (stiklas, pikis ir kt.) - kietieji kūnai skiriasi kristaline struktūra. Daugelio kietųjų kūnų iš išorės taisyklinga geometrinė forma buvo pastebėta seniai, ir tokie kūnai buvo pavadinti kristalais. Kristalus riboja plokščios, taisyklingai viena kitos atžvilgiu išdėstytos sienos, susieinančios briaunose ir viršūnėse....
Šį darbą sudaro 4577 žodžiai, tikrai rasi tai, ko ieškai!
★ Klientai rekomenduoja
Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?
Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!
Norint atsisiųsti šį darbą spausk ☞ Peržiūrėti darbą mygtuką!
Mūsų mokslo darbų bazėje yra daugybė įvairių mokslo darbų, todėl tikrai atrasi sau tinkamą!
Panašūs darbai
Atsisiuntei rašto darbą ir neradai jame reikalingos informacijos? Pakeisime jį kitu nemokamai.
Pirkdamas daugiau nei vieną darbą, nuo sekančių darbų gausi 25% nuolaidą.
Išsirink norimus rašto darbus ir gauk juos akimirksniu po sėkmingo apmokėjimo!