Puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesų modeliavimas

Išnagrinėti puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesus, išmokti modeliuoti terminės priemaišų difuzijos procesą.
1. Nubraižyti priemaišų pasiskirstymą po priemaišų įterpimo etapo. Difuzijos koeficientas (cm2/s): 0,910-13 ; proceso trukmė (min.): 10, 30, 60.
2. Nubraižyti, kaip priemaišų įterpimo etape kinta priemaišos srauto tankis ir legiravimo dozė. Priemaišų koncentracija bandinio paviršiuje (1/cm3):91020;difuzijos koeficientas (cm2/s): 110-13.
3. Nubraižyti priemaišų pasiskirstymą po priemaišų perskirstymo etapo. Legiravimo dozė (1/cm3): 31013 ; difuzijos koeficientas (cm2/S): 0.910-13; proceso trukmė (min.): 20, 40 ir 80.
4. Nubraižyti priemaišų pasiskirstymą tranzistoriuje, formuojamame dvikartės difuzijos būdu. Pradinė priemaišų koncentracija(1/cm3): 31015.
Įterpimo stadija
Perskirstymo stadija
Įterpimo stadija
Priemaišų koncentracija (1/cm3):
11019
-
51021
Nominali temperatūra (oC):
950
1050
920
Difuzijos koeficientas (cm2/s)
110-13
0.910-13
0.710-13
Aktyvacijos energija (eV):
3.6
5
3.8
Stadijos trukmė (min.):
26
70
31
Faktinė temperatūra (oC):
935
1061
907
5 pav. Priemaišų pasiskirstymas tranzistoriuje
2. Akustinės elektronikos įtaiso...

Daugiau informacijos...

★ Klientai rekomenduoja

Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?

Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!